信息概要
半导体车间分子污染（AMC）控制是确保半导体制造环境洁净度的关键环节，主要针对空气中可能影响产品质量的化学污染物进行监测和管理。AMC包括酸性气体、碱性气体、可凝有机物、掺杂物质等，其控制对半导体器件的良率、可靠性和长期稳定性至关重要。第三方检测机构通过专业服务，帮助企业评估AMC水平，并提供数据支持以优化洁净室环境。检测的重要性在于：避免污染物导致晶圆表面缺陷、设备腐蚀或电路性能下降，同时满足行业标准（如ISO 14644-8）和客户要求。
检测项目
总挥发性有机化合物（TVOC）, 氨（NH3）, 二氧化硫（SO2）, 硫化氢（H2S）, 氮氧化物（NOx）, 臭氧（O3）, 甲醛（HCHO）, 氯化氢（HCl）, 氟化氢（HF）, 磷酸（H3PO4）, 硼酸（H3BO3）, 硫酸（H2SO4）, 硅氧烷, 碳氢化合物（C1-C10）, 芳香烃（苯、甲苯等）, 颗粒物携带的化学污染物, 金属离子（Na+、K+等）, 胺类化合物, 酯类化合物, 酮类化合物
检测范围
酸性气体, 碱性气体, 可凝有机物, 掺杂物质, 挥发性有机化合物（VOCs）, 半挥发性有机化合物（SVOCs）, 颗粒物吸附污染物, 金属污染物, 硅基污染物, 硫化物, 氮化物, 卤化物, 碳氧化物, 磷化物, 硼化物, 氨及胺类, 酯类, 酮类, 醛类, 芳香族化合物
检测方法
气相色谱-质谱联用法（GC-MS）：用于定性和定量分析挥发性及半挥发性有机物。
离子色谱法（IC）：检测酸性、碱性气体及可溶性离子污染物。
傅里叶变换红外光谱法（FTIR）：实时监测多种气体污染物。
高效液相色谱法（HPLC）：分析难挥发或热不稳定化合物。
原子吸收光谱法（AAS）：测定金属离子浓度。
紫外-可见分光光度法（UV-Vis）：针对特定气体（如臭氧、氮氧化物）的定量。
电化学传感器法：实时监测单一气体（如H2S、HCl）。
被动采样法：长期累积污染物的吸附与后续实验室分析。
激光光谱法：高灵敏度检测痕量气体。
质子转移反应质谱（PTR-MS）：实时监测极低浓度VOCs。
气相色谱-火焰离子化检测法（GC-FID）：测定碳氢化合物。
X射线荧光光谱法（XRF）：分析颗粒物中金属成分。
石英晶体微天平（QCM）：测量可凝有机物沉积速率。
表面声波传感器（SAW）：快速响应有机蒸气污染。
化学发光法：用于氮氧化物和臭氧的检测。
检测仪器
气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）, 离子色谱仪（IC）, 傅里叶变换红外光谱仪（FTIR）, 高效液相色谱仪（HPLC）, 原子吸收光谱仪（AAS）, 紫外-可见分光光度计（UV-Vis）, 电化学气体传感器, 被动采样器, 激光光谱仪, 质子转移反应质谱仪（PTR-MS）, 气相色谱-火焰离子化检测器（GC-FID）, X射线荧光光谱仪（XRF）, 石英晶体微天平（QCM）, 表面声波传感器（SAW）, 化学发光分析仪
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