纳米压痕仪
主要用途
纳米压痕仪是用于测量材料微观力学性能的精密设备。广泛应用于材料科学、薄膜研究、微电子等领域,能够在纳米尺度测定材料的硬度、弹性模量等力学参数。
参数指标
载荷范围:0-500mN;位移范围:0-200μm;载荷分辨率:≤10nN;位移分辨率:≤0.01nm;最大压入深度:≥50μm;定位精度:≤1μm。
主要样品类型
适用于各类材料微观力学测试,包括:金属薄膜、陶瓷、聚合物、复合材料、涂层材料、半导体材料、生物材料等。
主要实验项目
硬度测定、弹性模量测定、蠕变性能测试、应力-应变曲线、断裂韧性测定、薄膜力学性能、涂层硬度测试、材料界面性能研究等。