信息概要
激光干涉法测试是一种高精度的光学测量技术，广泛应用于工业制造、科研实验等领域。该方法通过分析激光干涉条纹的变化，实现对物体表面形貌、位移、振动等参数的精确测量。检测的重要性在于确保产品质量、提升制造精度以及验证设计性能，尤其在精密仪器、光学元件、半导体等高端领域，激光干涉法测试是质量控制的核心环节。
检测项目
表面粗糙度, 平面度, 平行度, 垂直度, 角度偏差, 曲率半径, 厚度均匀性, 折射率分布, 光学均匀性, 波前畸变, 振动频率, 位移精度, 热膨胀系数, 材料应力分布, 涂层均匀性, 光学元件面形误差, 镜面反射率, 透射率, 偏振特性, 激光光束质量
检测范围
光学透镜, 棱镜, 反射镜, 激光器, 光纤器件, 半导体晶圆, 精密机械零件, 薄膜涂层, 光学窗口, 光栅, 微机电系统, 航空航天组件, 医疗器械, 汽车零部件, 显示面板, 摄像头模组, 望远镜系统, 显微镜物镜, 激光雷达, 光学镀膜
检测方法
菲索干涉法：通过参考光与测试光干涉，测量表面形貌误差。
泰曼-格林干涉法：用于光学元件波前畸变检测。
马赫-曾德尔干涉法：适用于折射率分布和微小位移测量。
相移干涉法：通过相位变化提高测量精度。
白光干涉法：用于非连续表面或薄膜厚度测量。
动态干涉法：检测振动或瞬态形变。
共光路干涉法：抗干扰能力强，适合环境复杂的场合。
散斑干涉法：适用于粗糙表面或变形分析。
偏振干涉法：测量光学元件的偏振特性。
数字全息干涉法：结合计算机技术实现三维形貌重建。
多波长干涉法：解决相位模糊问题，扩展测量范围。
外差干涉法：提高位移测量的分辨率和动态范围。
点衍射干涉法：用于高精度光学系统检测。
剪切干涉法：简化光学配置，适合现场检测。
激光多普勒振动测量：非接触式振动分析。
检测仪器
激光干涉仪, 相移干涉仪, 白光干涉仪, 泰曼-格林干涉仪, 菲索干涉仪, 马赫-曾德尔干涉仪, 数字全息显微镜, 激光多普勒测振仪, 光学轮廓仪, 散斑干涉仪, 偏振干涉仪, 外差干涉仪, 点衍射干涉仪, 剪切干涉仪, 多波长干涉仪
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